一种电热式MEMS微镜多自由度模型解析方法

• 作者: 徐大诚 章皓 谢会开 陈巧
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: MEMS微镜 数学建模 驱动器
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 17-20,24
• 页数: 5页
• 字数: 3200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2014)10-0017-04

摘要

结合微镜驱动器结构,通过引入热导和弹簧刚体模型分析了多驱动器间热传导和相互作用力导致的形变原因,并建立了多自由度微镜的数学模型.仿真与实验数据对比说明:建立的模型与实验结果具有较好的一致性,能够预测4个驱动器的输入响应特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章皓	苏州大学电子信息学院	1	6	1.0	1.0
5	徐大诚	苏州大学电子信息学院	60	259	8.0	13.0
6	陈巧		3	15	3.0	3.0