Aerotech发布精确的QNP-XY纳米级定位平台

• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 定位平台 纳米级 光学定位 谐振频率 动态性能 分辨率 线性度 重复性
• 年，卷（期）: znjqr_2015,（1）
• 页码范围: 10-10
• 页数: 1页
• 分类号: TP27

摘要

近日，Aerotech发布QNP．XY系列压电纳米级定位平台，为诸如从显微镜到光学定位之类要求最苛刻的应用提供分辨率、线性度、重复性和高动态等方面的特性。0．15nm的分辨率、0．007％的线性度以及2nm的重复性，保证了纳米级的精度。与其他类似尺寸和行程的平台相比，该平台具有最高的动态性能（谐振频率和刚度）.