离子束流后处理对类金刚石薄膜激光损伤特性的影响

• 作者: 吴慎将 徐均琪 惠迎雪 苏俊宏 葛锦蔓
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 离子束流 正交实验 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 197-201
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.114006

摘要

类金刚石薄膜激光损伤阈值低,已经严重制约其在红外激光系统中的应用.基于非平衡磁控溅射技术,在硅基底上沉积类金刚石薄膜;采用离子束流后处理技术,用正交实验法确定影响处理效果的主要因素,对已沉积完成的DLC薄膜进行离子束轰击;在不同处理工艺下,观测薄膜样品的光学常数及拉曼光谱,最后进行了激光损伤测试.从测试结果可知,离子束流后处理参数:离子能量1000 eV、放电电流30～40 mA、轰击时间8 min时,透射率由原来的60.65％提高到了65.98％;消光系数在900 nm后明显降低,DLC薄膜的激光损伤阈值从0.69 J/cm2提高到1.01J/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
2	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0
3	惠迎雪	西安工业大学光电工程学院	38	186	6.0	12.0
4	吴慎将	西安工业大学光电工程学院	47	138	7.0	9.0
5	葛锦蔓	西安工业大学光电工程学院	7	41	4.0	6.0