脉冲激光沉积镀膜工艺中不同靶材制备方法对La0.72Ca0.28MnO3薄膜电学性能和激光感生电压的影响

• 作者: 业冬 刘翔 崔琦 张辉 王文章 陈清明 马吉
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: La0.72Ca0.28MnO3 靶材 薄膜 溶胶-凝胶法 共沉淀法
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 465-470
• 页数: 6页
• 字数: 677字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(15)63625-1

摘要

采用脉冲激光沉积方法在单晶LaAlO3 (100)平衬底和15°倾斜衬底上制备La0.72Ca0.28MnO3薄膜.在镀膜过程中分别采用溶胶-凝胶法和共沉淀法制备靶材.研究不同方法制备的靶材和相应的薄膜的结构、电输运性能和表面形貌.与共沉淀法相比,采用溶胶-凝胶法制备的靶材具有更加均匀的组分和更大的致密度以及晶粒尺寸,因此具有更高的绝缘体-金属转变温度和更大的电阻温度系数.采用溶胶-凝胶靶材制备的薄膜,其晶粒尺寸更均匀、生长质量更好,绝缘体-金属转变温度高20 K,激光感生电压也更大.因此,使用溶胶-凝胶方法制备靶材可以大幅提高脉冲激光沉积方法中薄膜的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉	昆明理工大学材料科学与工程学院	66	154	6.0	8.0
2	业冬	昆明理工大学材料科学与工程学院	14	64	6.0	7.0
3	刘翔	昆明理工大学材料科学与工程学院	45	94	5.0	7.0
4	陈清明	昆明理工大学材料科学与工程学院	41	61	4.0	5.0
5	马吉	昆明理工大学材料科学与工程学院	9	11	2.0	2.0
6	崔琦	昆明理工大学材料科学与工程学院	4	3	1.0	1.0
7	王文章	昆明理工大学材料科学与工程学院	5	6	1.0	2.0