GaN基蓝光VCSEL的制备及光学特性

• 作者: 张保平 张江勇 朱文章 沈汉鑫 蔡丽娥
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 垂直腔面发射激光器 激光剥离技术 光泵浦 激射
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 452-456
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 3281字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20163704.0452

摘要

利用金属有机物气相沉积技术(MOCVD)在(0001)蓝宝石衬底上生长了 GaN 基垂直腔面发射激光器( VCSEL)的多量子阱腔层结构。 X射线衍射测量显示该多量子阱具有良好周期结构和平整界面。运用键合及激光剥离技术将该外延片制作成 VCSEL,顶部和底部反射镜为极高反射率的介质膜分布布拉格反射镜(DBR)。在室温、紫外脉冲激光的泵浦条件下,观察到了VCSEL明显的激射现象,峰值波长位于447.7 nm,半高宽为0.11 nm,自发辐射因子约为6.0×10-2,阈值能量密度约为8.8 mJ/cm2。在大幅度降低制作难度的情况下,得到目前国际最好结果同样数量级的激射阈值。降低器件制作难度有利于制备的重复性,有利于器件的产品化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张保平	厦门大学信息学院电子系	21	95	5.0	9.0
2	蔡丽娥	厦门理工学院光电与通信工程学院	3	9	2.0	3.0
6	张江勇	厦门大学信息学院电子系	7	12	2.0	3.0
7	沈汉鑫	厦门理工学院光电与通信工程学院	10	36	4.0	5.0