氮气流量对CrN薄膜结构及其性能的影响

• 作者: 张国喜 曹得莉
• 来源期刊: 青海师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: CrN薄膜 镁锂合金 氮气流量 结构 耐腐性能
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1789字
• 语种: 中文

摘要

采用直流反应磁控溅射方法,在氮气和氩气混合气氛下并在镁锂合金上成功制备出了CrN薄膜,并研究了氮气流量对薄膜的择优取向,XRD显示氮气流量对CrN薄膜单向的生成以及择优取向影响很大,并且在氮气流量为20sccm时,薄膜对基底的耐腐性能的最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国喜	青海师范大学物理系	11	17	2.0	3.0
2	曹得莉	青海师范大学民族师范学院物理系	2	0	0.0	0.0