柔性衬底沉积AZO/Ag/AZO透明导电薄膜及其光电性能研究

• 作者: 何依婷 周丽丹 朱刚毅 江绍基 胡洁 陈少飞
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 三层结构AZO薄膜 柔性衬底 直流磁控溅射 膜系优化
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 82-86,92
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

为了满足透明导电薄膜轻便、可折叠、高分辨率及快速响应的需求,在AZO单层透明导电薄膜研究基础上,尝试在柔性PET衬底上制备AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜.先利用光学薄膜设计软件对膜系进行设计优化,再参照此优化值制备研究不同AZO、Ag层对AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的影响.通过合理的实验设计与对比,发现在柔性PET衬底上制备的三层AZO薄膜与在硬质衬底上制备的薄膜光电性能相当,且当三层AZO/Ag/AZO薄膜中AZO层厚度在40～45 nm,Ag层厚度8 nm时,在可见光波段的透过率高达到92％,电阻率低至4.0×10-5Ω· cm,透明导电薄膜的品质因子最高为12.6×10-2Ω-1.得到的AZO/Ag/AZO三层透明导电薄膜具有与常见的ITO薄膜相比拟的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江绍基	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	35	365	10.0	18.0
2	胡洁	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	16	69	5.0	8.0
3	周丽丹	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	朱刚毅		1	0	0.0	0.0
5	陈少飞	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
6	何依婷	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0