磁控溅射技术沉积NSN70隔热膜的实验研究

• 作者: 戴彬 蒋恒 饶敏
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 AgCu合金 NSN系列隔热膜 光谱选择性
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 等离子体应用
• 页码范围: 361-365
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 2108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16568/j.0254-6086.201703020

摘要

利用磁控溅射技术,在柔性基材PET上沉积AgCu合金制备的NSN系列隔热膜,继承了单Ag隔热膜良好的光谱选择性,同时能有效的解决Ag易硫化的难题.通过选择合适的AgCu合金靶材、NSN70隔热膜的膜系设计与制备、样品的形貌检测、耐候性实验、光学性能测试等多方面研究了NSN隔热膜.实验结果为以后大规模工业化生产NSN系列隔热膜奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴彬		4	31	2.0	4.0
2	蒋恒		1	0	0.0	0.0
3	饶敏		1	0	0.0	0.0