衬底对微米金刚石薄膜制备及特性的影响?

• 作者: 张兵临 张武勤 李桢 高金海
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微米金刚石 薄膜制备 场致发射电子 微波等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TB383|O484
• 字数: 4094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2017.01.003

摘要

通过改变处理衬底表面的方法,制备出不同的微米金刚石薄膜。具体的方法是利用磁控溅射在陶瓷衬底上面镀上一层厚金属钛,对金属钛层进行不同的表面处理后,放在微波等离子体化学气相沉积腔中制备微米金刚石薄膜。对不同的薄膜用二极管型结构测试了它们的场致发射电子的性能,良好的表面处理能达到在电场2.1 V/μm下,9.2 mA/cm2优秀的发射效果。并对发射机理和场发射特性进行了深入的研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
2	李桢	郑州师范学院物理系	28	28	3.0	4.0
3	高金海	郑州师范学院物理系	22	25	3.0	4.0
5	张武勤	郑州师范学院物理系	25	50	5.0	5.0