面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能

• 作者: 刘卫兵 孙西龙 孟莹 明安杰 毛海央 熊继军 王玮冰 谭秋林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶碳 红外光源 辐射自增强 辐射性能 吸收率
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 379-383,389
• 页数: 6页
• 分类号: TB383|TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.06.003

摘要

为进一步提升红外气体传感器的性能,提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源,对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究,以期大幅提高光源的辐射效率,降低功耗.采用非平衡磁控溅射工艺制备了含钛的周期性非晶碳复合薄膜,在不同退火条件下进行了方阻及光学吸收率测试表征.结果表明,多层纳米厚度交叠薄膜有效降低了薄膜的应力;氧等离子体表面刻蚀调控工艺实现了高辐射率纳米纤维材料的集成制备;制备的非晶碳纳米复合薄膜在高温800℃退火后呈现出良好的电阻热稳定性,在波长5～6 μm内吸收率大于80％,最高接近84％.本工作为该辐射自增强的非晶碳薄膜应用于MEMS红外光源提供了一定的技术支持.