快速热退火增强非晶SiCxOy薄膜蓝绿光发射特性研究

• 作者: 宋捷 宋超 林圳旭 王岩 王怀佩 郭艳青 黄锐
• 来源期刊: 南京大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 碳氧化硅薄膜 等离子增强化学气相沉积 光致发光 快速热退火
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 硅基纳电子和光电子专栏
• 页码范围: 428-433
• 页数: 6页
• 分类号: TP181
• 字数: 1696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13232/j.cnki.jnju.2017.03.007

摘要

采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH4,CH4和O2作为反应气源,在150 ℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速热退火处理,研究快速热退火处理对其结构和发光特性的影响.实验表明,原始沉积薄膜在可见光全波段展现较强的光致发光特性,经过快速热退火处理后,其发光强度显著增强.薄膜在700 ℃经过快速热退火10 s后,相比于原始沉积薄膜,其发光强度增强6倍,肉眼可见强的蓝绿光光发射.光荧光谱(PL)分析表明,薄膜的发光峰位不随激发波长的改变而发生明显变化.通过结合拉曼(Raman)光谱及傅里叶红外吸收(FTIR)光谱对薄膜的微结构及键合结构分析,分析了不同退火温度和退火时间对其蓝绿光发射增强机制的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋超	韩山师范学院材料科学与工程学院	7	11	2.0	3.0
2	黄锐	韩山师范学院材料科学与工程学院	9	7	2.0	2.0
3	郭艳青	韩山师范学院材料科学与工程学院	9	12	2.0	3.0
4	宋捷	韩山师范学院材料科学与工程学院	9	7	2.0	2.0
5	林圳旭	韩山师范学院材料科学与工程学院	3	1	1.0	1.0
6	王岩	韩山师范学院材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
7	王怀佩	韩山师范学院材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0