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NTD区熔硅单晶品质改善方法研究
NTD区熔硅单晶品质改善方法研究
作者:
佟宇薇
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
NTD
电阻率
少子寿命
摘要:
本文从原始单晶生长、中子辐照、热处理等过程分析了影响NTD(中子辐照嬗变掺杂)区熔硅单晶品质的因素,并结合实际情况得出了杂质、中照反应堆类型、热处理工艺等对单晶电阻率和少子寿命产生影响的结论,提出了改善产品品质的一些方法.
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篇名
NTD区熔硅单晶品质改善方法研究
来源期刊
大陆桥视野
学科
关键词
NTD
电阻率
少子寿命
年,卷(期)
2017,(20)
所属期刊栏目
专业研究
研究方向
页码范围
88-89
页数
2页
分类号
字数
2543字
语种
中文
DOI
五维指标
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佟宇薇
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期刊影响力
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主办单位:
新疆电子音像出版社
大陆桥视野杂志社
出版周期:
半月刊
ISSN:
1671-9670
CN:
65-1233/F
开本:
大16开
出版地:
乌鲁木齐市西北路1093号
邮发代号:
58-5
创刊时间:
2002
语种:
chi
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18758
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