ZnO薄膜晶体管(TFT)的制备工艺研究

• 作者: 张振辉 王德伟
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 薄膜晶体管 磁控溅射 ZnO薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（22）
• 所属期刊栏目: 工程技术
• 页码范围: 68
• 页数: 1页
• 字数: 1363字
• 语种: 中文

摘要

平板显示器占有很重要的地位.薄膜晶体管是其驱动器件,氧化锌薄膜晶体管中有重要的作用.氧化锌薄膜晶体管中的氧化锌薄膜是有源层,氧化锌高迁移率、具有较宽的禁带宽度(3.37e v).论文主要研究氧化锌薄膜晶体管的结构设计,以及氧化锌薄膜晶体管的制备工艺,结果表明制备出的氧化锌薄膜晶体管有着明显的输出特性和转移特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张振辉		24	65	5.0	6.0
2	王德伟		1	1	1.0	1.0