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摘要:
微机电制造过程中,自抗扰技术应用能够有效补偿缺陷,以及避免遭受周围环境扰动,进而确保微机电换能器测量和移动精度。本文首先阐述自抗扰控制技术概况,并探讨了自抗扰控制技术在微机电换能器中的运用情况,旨在为提升自抗扰控制技术应用质量提供一定参考。
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文献信息
篇名 自抗扰控制技术在微机电换能器中的运用探究
来源期刊 市场周刊·理论版 学科 经济
关键词 自抗扰控制技术 微机电换能器 微机电陀螺仪 缺陷
年,卷(期) 2017,(34) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 0138-0138
页数 1页 分类号 F
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1 陈丽斌 2 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
自抗扰控制技术
微机电换能器
微机电陀螺仪
缺陷
研究起点
研究来源
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