烧结气氛对BNT-BKT-ST薄膜结构和性能影响

• 作者: 商鑫亭 李伟 艾彩娇 雒金城 顾雅欣
• 来源期刊: 聊城大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 钛酸铋钠 溶胶-凝胶 烧结气氛 压电性能 介电性能
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 光电功能材料
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: O646
• 字数: 3992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19728/j.issn1672-6634.2018.03.004

摘要

压电薄膜具有优异的压电性能、铁电性能和光学非线性能,被广泛的应用于存储器、微传感器和微驱动器等领域中.采用溶胶-凝胶法制备了0.95(0.8Bi0.5 Na0.5 TiO3-0.2Bi0.5 K0.5)TiO3-0.05SrTiO3(BNT-BKT-ST)无铅压电薄膜,并在氧气气氛和氮气气氛下分别对薄膜进行了烧结处理,研究了烧结气氛对其结构、漏导、介电、压电和铁电性能的影响.阐明了通过烧结气氛控制薄膜微观结构,从而调控薄膜的电学性能的物理机制.结果表明:与氮气气氛相比,在氧气气氛下烧结获得的BNT-BKT-ST薄膜具有更大的晶粒尺寸,更致密的显微结构;氧气氛有效抑制了在晶粒界面,薄膜和衬底界面氧空位O2+和缺陷的形成;极大降低了BNT-BKT-ST薄膜漏导(J=1.3×10-7 A/cm2);有效提高了BNT-BKT-ST薄膜的介电性能(ε=470,η=49％),铁电性能(2 Pr=14μC/cm2)和压电性能(d33,f=80 pm/V).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	聊城大学材料科学与工程学院	24	43	4.0	6.0
2	商鑫亭	聊城大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
3	艾彩娇	聊城大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
4	顾雅欣	聊城大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
5	雒金城	聊城大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0