InAlN薄膜的变温椭圆偏振光谱研究

• 作者: 万玲玉 冯哲川 杨庆怡 林涛 梁远兰
• 来源期刊: 广西大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: InAlN合金 椭圆偏振光谱 变温
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 1954-1959
• 页数: 6页
• 分类号: O433.4
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13624/j.cnki.issn.1001-7445.2018.1954

摘要

为了研究InAlN材料的光学参数随温度的变化特性,采用变温椭圆偏振光谱(25～600℃)测量技术对InAlN合金材料在193～1650 nm宽光谱范围内进行了表征.利用Tauc-Lorentz振子模型描述和拟合变温椭偏光谱测量数据,得到了InAlN薄膜的光学常数(n、k和α)随温度的变化曲线.由变化曲线可见,在温度50～600℃,光学带隙从4.56 eV减小到4.35 eV,折射率峰值对应的能量则从4.61 eV减小到4.37 eV.两者都随温度升高而减小,其变化规律符合Varshni方程的预期.结果表明,在600℃以下测试温度条件下,InAlN合金材料的光谱和光学参数没有发生突变,说明InAlN合金材料具有高的热稳定性,并未发生影响材料光学性能的晶体结构变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨庆怡	广西大学物理科学与工程技术学院	32	80	6.0	7.0
2	万玲玉	广西大学物理科学与工程技术学院	31	170	7.0	11.0
3	冯哲川	广西大学物理科学与工程技术学院	3	3	1.0	1.0
4	梁远兰	广西大学物理科学与工程技术学院	1	1	1.0	1.0
5	林涛	广西大学物理科学与工程技术学院	6	3	1.0	1.0