溶液法制备铟镓锌氧薄膜晶体管及其性能研究

• 作者: 史恺 杨小天
• 来源期刊: 吉林建筑大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管(TFT) 铟镓锌氧(IGZO) 溶液法制备 电学性能
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 信息科技
• 页码范围: 78-82
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 4191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0185.2019.04.016

摘要

本文介绍了薄膜晶体管的结构及工作原理,并概述了几种常见的制备氧化物材料工艺方法,其中对溶液方法制备铟镓锌氧有源层进行了详细阐述.溶液法制备更有利于元素配比的调控,制备方法更灵活,可适用于大面积的生产.本文利用旋涂法和喷墨打印法制备了铟镓锌氧化物薄膜晶体管,并进行了电学性能测试与分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨小天	吉林建筑大学电气与计算机学院	36	115	5.0	9.0
2	史恺	吉林建筑大学电气与计算机学院	2	0	0.0	0.0