喷墨打印金属氧化物异质结晶体管

• 作者: 崔宇 张国成 杨文宇 陈惠鹏
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金属氧化物半导体 喷墨打印 异质结 二维电子气
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 497-503
• 页数: 7页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 4176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20194004.0497

摘要

通过用喷墨打印制备的ZnO/IGZO异质结代替单层半导体沟道克服了氧化物缺陷导致的电子传输限制.ZnO/IGZO异质结晶体管表现出带状电子传输,迁移率比单层IGZO或ZnO TFT分别增大了约9倍和19倍,达到6.42 cm2/(V·s).开关比分别增大了2个和4个数量级,达到1.8×108.性能的显著改善源自于IGZO和ZnO异质界面间由于导带的大偏移量而形成的二维电子气.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国成	福州大学平板显示技术国家地方联合工程实验室	12	9	2.0	2.0
3	崔宇		9	0	0.0	0.0
6	杨文宇	福州大学平板显示技术国家地方联合工程实验室	1	0	0.0	0.0
7	陈惠鹏	福州大学平板显示技术国家地方联合工程实验室	3	1	1.0	1.0