过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响

• 作者: 万志远 吴军 孔金丞 宋林伟 张阳 李东升 李沛 陆骏
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 过冷度 厚度均匀性 液相外延
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 165-170
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2|O484.1
• 字数: 4627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2019.02.007

摘要

探索了一种准确测量过冷度的实验方法,并在此基础上,利用光学显微镜、傅里叶红外透射光谱仪、台阶仪、白光干涉仪等测试手段分析了过冷度对HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响.研究结果表明,过冷度小于2℃,薄膜容易出现中心凹陷、四周凸起的现象;过冷度大于3℃,薄膜中心将会明显凸起,出现宽度为毫米级的周期性起伏,并伴随有crosshatch线产生.当过冷度为2.5℃时,薄膜厚度极差可缩小至0.5 μm,0.5 mm×0.5 mm范围内薄膜相对于衬底的粗糙度增加量为9.07 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔金丞		26	70	4.0	6.0
2	宋林伟		5	2	1.0	1.0
3	吴军		11	22	3.0	4.0
4	李沛		4	8	2.0	2.0
5	张阳		8	5	2.0	2.0
6	李东升		27	43	3.0	4.0
7	万志远		5	8	2.0	2.0
8	陆骏		2	0	0.0	0.0