液相外延HgCdTe薄膜组分的均匀性

• 作者: 吴军 姬荣斌 孔金丞 杨宇 陈建才 马庆华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 液相外延 HgCdTe 组分均匀性
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 513-516
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+5
• 字数: 2091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.03.017

摘要

利用水平推舟液相外延法,以CdZnTe作为衬底,固态HgTe作为Hg补偿源,从富Te-HgCdTe溶液中外延生长大面积HgCdTe薄膜.通过选择合适的温度和生长速率,获得了组分均匀性和重复性较好的大面积长波HgCdTe薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学材料科学与工程系	101	377	9.0	12.0
2	姬荣斌	昆明物理研究所红外材料研发中心	50	200	7.0	10.0
3	吴军	昆明物理研究所红外材料研发中心	11	22	3.0	4.0
4	马庆华	云南大学材料科学与工程系	12	47	4.0	6.0
6	陈建才	昆明物理研究所红外材料研发中心	6	31	4.0	5.0
9	孔金丞	云南大学材料科学与工程系	1	5	1.0	1.0