CVD法制备单晶金刚石的现状及研究进展

• 作者: 徐帅1,2 潘红星1 范波1 闫建明1
• 来源期刊: 化工技术与开发
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶金刚石 化学气相沉积法 合理化 产业化
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与进展
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164.8
• 字数: 3658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-9905.2019.09.009

摘要

单晶金刚石因其独特结构而具有优异的物理化学性能,在许多科学技术领域具有潜在的重要应用价值,被广泛应用于工业、科技、国防、医疗卫生等众多领域.用化学气相沉积法实现高沉积速率、高质量、大面积的金刚石单晶的制备是目前研究的热点.本文对化学气相沉积法制备单晶金刚石的机理进行了分析,对比了化学气相沉积法合成金刚石的几种主要方法,总结了其优缺点,在已有研究工作和生产经验的基础上提出了合理化的建议,为单晶金刚石的产业化提供有价值的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘红星1		1	0	0.0	0.0
2	范波1		1	0	0.0	0.0
3	闫建明1		1	0	0.0	0.0
4	徐帅1,2		1	0	0.0	0.0