后摩尔时代集成电路制造发展趋势以及我国集成电路产业现状

• 作者: 吴汉明 康劲 汪涵
• 来源期刊: 微纳电子与智能制造
• 学科: 经济
• 关键词: 摩尔定律 光学邻近效应修正 鳍式场效应晶体管 良率提升 集成电路产业链 晶圆代工 集成电路专用设备 集成电路材料
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 57-64
• 页数: 8页
• 分类号: F426.6

摘要

集成电路是将电子元件依照电路互连",集成"在晶片上,实现特定功能的电路系统。在当代,集成电路已渗透到社会发展的各个领域,是信息产业高速发展的基础和动力。在经济结构调整中,集成电路产业的战略性、先导性地位凸显,有望从根本上对制造业进行改造,在完成产业升级同时满足国家信息安全的需要。随着需求的不断提升,未来的集成电路需兼具低功耗、小尺寸、高性能等综合素质,传统工艺的改进已不足以满足这些要求。为此,集成电路制造业必须拓展相应制造技术以顺应新的发展趋势。我国集成电路产业近20年来取得了显著发展,总结了国内集成电路产业的发展历程及现状,并对未来发展进行了展望。