溅射功率对玉米蛋白膜基底上制备氧化锌(ZnO)薄膜性质的影响

• 作者: 杨帆 王超 雷蕾
• 来源期刊: 吉林建筑大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌(ZnO)薄膜 玉米蛋白膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 信息科技
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: TN209
• 字数: 2255字
• 语种: 中文

摘要

室温下采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上沉积了氧化锌(ZnO)薄膜,研究了溅射功率对ZnO薄膜表面形貌和光学性能的影响.X射线衍射测试结果表明,所制备的薄膜均为纤锌矿结构,其取向以(0002)面择优生长为主.薄膜的结晶度和表面形貌与溅射功率密切相关,同时,溅射功率对薄膜的微观结构和光学性能有很大的影响.光学吸收测试结果表明,在玉米蛋白基底上制备的ZnO薄膜在380 nm处具有陡峭的吸收边,在不同溅射功率条件下制备的薄膜禁带宽度均在3.26 eV附近.此外,本文还研究了蛋白质基底上制备ZnO薄膜的光致发光谱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超	吉林建筑大学电气与计算机学院	37	82	4.0	8.0
2	雷蕾	吉林建筑大学电气与计算机学院	1	0	0.0	0.0
3	杨帆	吉林建筑大学电气与计算机学院	3	6	2.0	2.0