行波管金刚石输能窗片金属化影响因素分析

• 作者: 刘林 刘青伦 安晓明 张平伟 薛辽豫
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 金属化 物理气相沉积 掩膜 热处理 碳化钛
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 83-88
• 页数: 6页
• 分类号: TN124
• 字数: 3451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.01.014

摘要

为制备行波管用金刚石输能窗片,分析金刚石金属化影响因素.采用粗糙度、 拉曼光谱评估金刚石材料性能.采用酸洗、 离子束刻蚀清洗金刚石表面.采用冲压掩膜、 光刻掩膜防护非金属化区域.通过物理气相沉积制备Ti/Mo/Ni金属化层,并通过真空热处理方法制备TiC过渡层.结果表明:当金刚石内石墨的质量分数低于1％时,离子束刻蚀方法一方面去除金刚石表面杂质,另一方面将表面粗糙度从0.256μm提升至0.343μm;相比冲压掩模,光刻掩模降低界面孔隙率,减少了金属离子对掩模底层的污染,过渡区域宽度从200μm减少至10μm;700℃保温过程促进了TiC的形成,提升了金属化层结合强度,促进了抗热冲击性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平伟		13	19	3.0	3.0
3	刘林	中国科学院电子学研究所	17	254	8.0	15.0
4	安晓明		4	7	2.0	2.0
6	刘青伦	中国科学院电子学研究所	6	18	2.0	4.0
7	薛辽豫	中国科学院电子学研究所	2	2	1.0	1.0