ITO靶材第二相的提取方法与分析

• 作者: 师琳璞 杨硕 薛建强
• 来源期刊: 材料开发与应用
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 腐蚀产物 第二相 靶材黑化
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 分类号: TF124
• 语种: 中文

摘要

通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物.以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等.结果 表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In4Sn3O12,B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In4Sn3O12和“窄片”In2SnO5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32％,比C靶多出约4.48％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨硕	中国船舶重工集团公司第七二五研究所	19	8	2.0	2.0
2	薛建强	中国船舶重工集团公司第七二五研究所	7	2	1.0	1.0
3	师琳璞	中国船舶重工集团公司第七二五研究所	6	0	0.0	0.0