热压ITO靶材微观组织的电镜观察

• 作者: 朱学信 王东新 钟景明
• 来源期刊: 宁夏工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 热压 微观组织
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 55-57
• 页数: 3页
• 分类号: TG113
• 字数: 1476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7244.2003.01.016

摘要

观察比较了两种热压工艺制造的ITO靶材的微观组织.观察结果显示:两种工艺制造的ITO靶材的微观组织大不相同.符合技术要求的靶材(试样Hy-1,Hy-2,Hy-3)微观组织致密且晶界平直,无任何析出物;而靶材在造成其有缺陷的温度条件下(试样Hy-5,Hy-7,Hy-9)均可观察到有液相形成,并因液相润湿晶界后退润湿不完全而在晶界上形成In,Sn和SnO2析出物,同时在靶材中还存在大量晶界反应不完全.两种靶材微观组织的不同还导致其力学性能产生显著变化,前者的抗弯强度可达到227～244 MPa,而后者的抗弯强度却只有62～87 Mpa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟景明	西北稀有金属材料研究院宁夏特种材料重点实验室	26	162	6.0	11.0
2	王东新	西北稀有金属材料研究院宁夏特种材料重点实验室	19	128	6.0	11.0
3	朱学信	西北稀有金属材料研究院宁夏特种材料重点实验室	1	0	0.0	0.0