新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析

• 作者: 张揽宇 张金迪 王佳印 王晓亮 钟耿君 高健
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 宏微运动平台 双闭环 运动学 仿真
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 设备设计/诊断维修/再制造
• 页码范围: 125-129
• 页数: 5页
• 分类号: TH36
• 字数: 3021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2019.08.021

摘要

针对集成电路制造、超精密检测仪器及微机电系统加工制造等领域对大行程、多自由度、高速及高精度运动平台日益迫切的需求,提出一种新型大行程三自由度宏微运动平台.该平台采用直线电动机与压电陶瓷进行宏微双重驱动,采用直线光栅与平面光栅实现双闭环位置反馈与控制.基于该平台结构设计,确定其位置正解方程与位置逆饵方程,并列举算例验证.基于ADAMS软件对平台进行运动仿真,分析不同驱动类型与驱动参数对运动平台位移、速度及加速度的影响.最后,针对宏微双重驱动传动的精度问题进行实验研究.结果 表明,该平台运动学方程正确有效,具有较好的动态响应性与运动规划性,且该种驱动传动形式满足大行程、高速及高精度的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高健	广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室	81	637	12.0	21.0
2	张揽宇	广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室	7	14	3.0	3.0
3	张金迪	广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	钟耿君	广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	王晓亮	广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
6	王佳印	广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0