晶圆机械手PLC控制系统的设计与实现

• 作者: 吕栋腾 崔屹嵘
• 来源期刊: 自动化与仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆传递机械臂 PLC 精准定位 运动轨迹
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.1001-9227.2019.10.026

摘要

针对于原半导体生产线在生产过程中晶圆传递机械臂定位不够精确的问题,通过对机械臂进行力学分析,研究其运动轨迹,并对晶圆机械臂的运动轨迹进行了数学建模分析.并根据晶圆机械臂运动轨迹分析结果,引入插补算法减小累积误差,并利用B&R 2003 PLC进行程序设计实现系统精准定位,通过实验实际数据表明,误差范围较小,可实现精准定位功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕栋腾		48	165	7.0	11.0
2	崔屹嵘		14	14	2.0	2.0