AlGaN/GaN HEMT氢气传感器不同温度下响应特性的研究

• 作者: 吴卫东 曹林洪 王雪敏 符亚军 阎大伟 陈金龙
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Pt/AlGaN/GaN HEMT 氢气传感器 温度 灵敏度 Langmuir吸附等温线
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 12-16
• 页数: 5页
• 分类号: TN386
• 字数: 2741字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.01.03

摘要

本文制作了栅极为金属Pt的AlGaN/GaN HEMT结构的氢气传感器.当外加偏压VGs=-2.5 V时,研究了传感器在不同温度(25-150℃)下对不同氢气浓度(25-900 ppm)的响应特性.研究结果表明:当温度为25℃、氢气浓度为25ppm时,器件响应的灵敏度为65.9％;随着氢气浓度从25增加到900 ppm后,器件灵敏度增加了14％,器件灵敏度与浓度的对数呈线性关系.当温度在25-150℃的区间内,传感器响应的灵敏度随着温度升高而降低,在室温25℃时其响应最佳.此外,通过修正Langmuir吸附等温线建立了传感器响应的理论模型,将实验数据通过理论模型进行拟合,分析了温度对传感器响应的影响.本工作研究的氢气传感器具有优异的响应特性,它可应用于室温氢气检测,具有极高的应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
2	曹林洪	西南科技大学材料科学与工程学院	38	148	8.0	10.0
3	王雪敏	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	16	26	4.0	5.0
4	陈金龙	西南科技大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
8	阎大伟	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	5	2.0	2.0
9	符亚军	西南科技大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0