接近接触式光刻机三点找平机构研究与应用

• 作者: 周占福
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 三点找平 光刻机 找平力 楔形误差补偿
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1166字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种接近接触式光刻机对准工作台找平机构,该机构采用三点找平,容易找平,找平力小,找平时不损伤掩模版和基片涂胶面.结构简单,性能稳定可靠,维修方便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周占福	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	0	0.0	0.0