光刻机多体动力学建模方法研究

• 作者: 陈文枢 魏巍
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 动力学 仿真模型
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2713字
• 语种: 中文

摘要

对虚拟样机技术的建模工具进行调研,最终选择SimMechanics工具箱作为光刻机动力学建模工具.用拉格朗日方法推导出多刚体系统动力学方程,并在原有商业软件的基础上进行二次开发,满足光刻机多体动力学建模的需求.