扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现

• 作者: 孙嘉伟 李笑天 潘菊凤 纪松林 谢仁飚
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 安全与诊断 以太网控制自动化技术 用于过程控制的对象连接和嵌入
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 15-19,49
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3023字
• 语种: 中文

摘要

针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统.该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标准协议,实现了光刻机在整机控制层面上的电气安全设计以及实时诊断,为光刻机的安全运行提供了智能决策与可靠保障.