提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究

• 作者: 刘海霞 卓祖亮 张磊 杜佳伟 石倩楠 谢均宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 晶圆传输 机械手 晶圆散热优化
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 17-22
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.3
• 语种: 中文

摘要

针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能.