基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统设计

• 作者: 庞权岗 胡放荣 张文涛 石公含
• 来源期刊: 桂林电子科技大学学报
• 关键词: NiosⅡ软核 电机驱动 控制 FPGA 架构升级 光刻机
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 498-504
• 页数: 7页
• 分类号: TP272
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-808X.2020.06.008

摘要

为了给光刻机运动台控制系统架构升级提供可靠方案,设计了基于Nios Ⅱ的光刻机运动台电机驱动控制系统.采用FPGA内嵌Nios Ⅱ软核,通过QuartusⅡ软件中的Qsys和功能平台Nios Ⅱ SBT实现电机驱动控制系统硬件电路和软件程序设计.内核部分采用嵌入式多核CPU实现数据并行运算,以提升控制系统的数据处理能力.实验结果表明,该控制系统能够稳定控制电机运转达到预期的驱动效果,验证了该控制系统方案的可行性.