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摘要:
The purpose of this work is to analyze the electrical properties of the metal-semiconductor contact (MSC) in the framework of the theory of complex systems.The effect of inhomogeneity of the different microstructures: polycrystalline,monocrystalline,amorphous metal-semiconductor contact surface is investigated,considering a Schottky diode (SD) as a parallel connection of numerous subdiodes.It has been shown that the polycrystallinity of the metal translates a homogeneous contact into a complex system,which consists of parallel connected numerous elementary contacts having different properties and parameters.
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篇名 Study of electrophysical properties of metal-semiconductor contact by the theory of complex systems
来源期刊 半导体学报(英文版) 学科
关键词
年,卷(期) 2020,(10) 所属期刊栏目 ARTICLES
研究方向 页码范围 17-20
页数 4页 分类号
字数 语种 英文
DOI 10.1088/1674-4926/41/10/102101
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半导体学报(英文版)
月刊
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