基于双显微视觉的光刻版位姿定位算法

• 作者: 仲丁元 吕红阳 薛立伟 陈立国
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 视觉对位 亚像素边缘检测 RANSAC算法 位姿检测
• 年，卷（期）: 2020,（32）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 13295-13301
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.41
• 语种: 中文

摘要

光刻版工件移动位姿的精确定位及调整是完成其视觉对位的关键.针对光刻版工件跨尺度级高精度对位的难点,搭建了双显微视觉对位系统,通过双显微视觉的局部位姿检测,解决了工件尺寸与定位精度之间的矛盾.具体方法为:首先采用双显微视觉获取工件两端局部图像;接着提出改进Canny算法并基于多项式插值的边缘细分完成亚像素级边缘轮廓提取;然后基于RANSAC算法拟合边缘轮廓,获得左右相机图像中"Mark"标志中心点位置坐标及偏转角度;最后通过推导局部位姿间数学关系完成光刻版工件的精确位姿定位.实验结果表明:所设计的视觉算法对于0.5 mm平行线的距离检测精度达1.93μm,角度提取精度达0.018°;对于光刻版的移动位姿的定位精度达0.64μm,能满足视觉对位过程中高精度的定位需求.