硅片清洗自动上料机械手设计

• 作者: 姚明勇
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 脱胶 清洗 上料 机械手
• 年，卷（期）: 2020,（22）
• 所属期刊栏目: 工艺流程与应用
• 页码范围: 95-98
• 页数: 4页
• 分类号: TP241
• 语种: 中文

摘要

针对脱胶后的硅片在进行清洗前的分装、搬运、上料到清洗机设备的整个过程都需要人工作业,为避免对硅片造成二次污染和损伤.为确保清洗前能顺利分片整个过程都是在水质环境中进行,常年操作员的手浸泡损伤较大.单体硅片载体治具重量约20kg,每隔8分钟做次上下料动作,劳动强度较大.本文介绍了硅片在脱胶后分装到硅片载体治具中,从输送线系统自动上料到清洗机设备,空载体治具自动下料到治具回流输送线体的过程.本案的实施有效地解决了上述问题.