LCD-ITO膜层导致ESD研究及改善

• 作者: 黄琛 张幼莲
• 来源期刊: 光电技术应用
• 关键词: ESD ITO烧伤 ITO表面形貌 气氛工艺
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件与材料|Opto-electronic Device and Material
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TN151
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1255.2021.04.013

摘要

ESD是LCD生产过程中经常会遇到的问题,生产过程中的各个环节都有可能产生静电放电现象.文中结合LCD生产过程中遇到的实际情况,对静电产生的原因展开认真研究.通过理论分析和实验验证,当ITO膜层表面结晶存在很多尖峰的时候,由于微电产和电势差的原因,很容易出现静电放电现象、烧伤甚至烧断ITO走线.根据试验验证了靶材使用时间、温度和气氛工艺,结果发现,气氛工艺的调整是有效解决ESD问题的方法.通过气氛工艺的调整,LCD的ESD测试性能达到了目标要求,生产的ESD不良比例从18.9％下降到了0.002％以下,通过改善提高了产品品质,降低了生产成本,取得了很好的经济效益.