埋置空气隙柔性凸点结构随机振动应力应变分析

• 作者: 李鹏 赵鲁燕 潘开林
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: 柔性晶圆级封装 埋置空气隙 柔性凸点 随机振动 有限元分析
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research & Development
• 页码范围: 702-709
• 页数: 8页
• 分类号: TG454
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1734

摘要

机械振动疲劳失效是影响柔性晶圆级封装芯片互连结构可靠性的关键因素之一.应用埋置空气隙的柔性凸点结构进行随机振动条件下的有限元仿真分析,建立了三维有限元仿真模型,加载随机振动载荷后分析了X、Y、Z三个方向振动作用下各模态对应互连结构应力应变分布.研究结果表明,随机振动载荷条件下柔性凸点结构最大应力、应变分布位置出现在距离芯片中心最远位置处,互连结构所受应力、应变值均处于材料承受极限范围内,埋置空气隙柔性凸点结构能有效提高电子产品抗振疲劳可靠性.