双臂洁净机器人运动控制算法研究

• 作者: 孙若怀
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: 洁净机器人 运动学 双臂机器人
• 年，卷（期）: 2021,（14）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-5059.2021.14.010

摘要

双臂洁净机器人由于其工作范围更大,可执行更加复杂的搬运动作,因此在提升半导体制造产能方面有着重要的作用.本文针对共基座的双臂真空传输机器人的运动控制进行了研究.首先,分析了该机构的结构特点,建立机器人的关节坐标系;其次,从正反两个反面对机器人进行了运动学分析,建立双臂共同的运动学映射关系;最后,通过仿真软件对机器人跟踪预设轨迹验证运动学模型的有效性.