基于镍基刻蚀剂分步刻蚀微锥形阵列工艺方法

• 作者: 唐健 张彦 周克兵 赵亮 王国乾 褚昊森
• 来源期刊: 南京工业大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 金属阵列结构 分步式加工 镍基刻蚀剂 掩膜电解加工 疏水表面
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 智能制造
• 页码范围: 169-179
• 页数: 11页
• 分类号: TH162
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7627.2022.02.007

摘要

聚焦于金属阵列锥形结构高精度、高表面质量、高阵列一致性制造,提出一种分步式电解加工方法,通过开展一次掩膜电解加工正交优化实验和二次电解表面修整工艺优化,最终实现高精密微锥形阵列结构制造.结果表明:较长的加工时间和较大的电流可加工出小顶端直径、大高径比的微锥形阵列结构;镍基刻蚀剂可避免微锥形阵列结构过度腐蚀,提高表面光滑度.当工作液为1.5 mol/L HC1与2.0 mol/L镍基刻蚀剂的混合溶液,脉冲电压为4 V,加工时间为12 s时,二次电解表面修整后的微锥形阵列结构平均顶端直径为27.8 μm,平均高度为178.2 μm;经低表面能处理后,工件表面液滴的接触角为133°,具备一定的疏水性能.