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磁控溅射;结合力;表面能;溅射气压
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期刊影响力
辽宁化工
主办单位：
辽宁省化工学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-0935
CN：
21-1200/TQ
开本：
大16开
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
1972-01-01
语种：
chi
出版文献量（篇）
7956
总下载数（次）
0
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