电子工业专用设备期刊
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3731
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 何纪法 赖其涛
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  51-54
    摘要: 主要对光伏组件在生产过程中进行电性能参数全自动测试,进行了原因的研究、理论计算和结构设计.设计了符合国际标准的3A级太阳模拟器和全自动测试机构,大大提高了测试的效率,降低测试的劳动强度,并保...
  • 作者: 关宏武 张雅丽 舒福璋
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  55-57
    摘要: 甩干设备是半导体清洗工艺后的主要设备,阐述了甩干设备中颗粒产生的各种原因,并进行分析,提出了避免和减少颗粒的解决方案,降低甩干设备带来的颗粒污染.
  • 作者: 李莉 王淳 高艳
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  58-60
    摘要: 背光源的生产主要依靠人工完成,大大制约了生产成本的降低,机器生产代替人工生产成为必然发展方向.对背光源生产设备自动BLU叠片机的膜片吸取装置的设计过程进行了阐述,确定了满足生产工艺的最优方案...
  • 作者: 易亚军 朱志红 王鹏贺 鲜飞
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  61-64
    摘要: 现在许多SMT设备已经能够国产,但其上使用的伺服系统依然从国外进口.为了改变这种局面,两家国内公司展开合作,推出了第一台应用国产伺服系统的锡膏印刷机,取得了该领域的关键性突破,证明国产伺服系...
  • 作者: 剡颜
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  65-71
    摘要: 介绍了自行开发的一种光学系统自动设计软件,突破传统计算方法,在应用高像差理论,多物距自动变焦距设计等方面,提出了复杂的处理思路,达到了比较理想的设计效果.特别是在光学微细加工领域,解决了许多...
  • 作者: Dan Ashley
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  72-74
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2013年2期
    页码:  75-79
    摘要:
  • 作者: 张彬庭 赵瓛
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  1-8,23
    摘要: 综述了硅基锗硅薄膜的外延生长技术、设备及其在光电子器件上的应用,其中着重介绍了超高真空化学气相沉积系统(UHVCVD).目前来说,UHVCVD是产业化制备高质量锗硅材料的最佳选择.
  • 作者: 宁宗娥 王慧勇 魏唯
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  9-11,33
    摘要: 介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率.
  • 作者: 周洪涛 王善学
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  12-14
    摘要: 针对LQFP产品封装,研究环氧塑封料的粘接、固化速度、线膨胀系数、吸水率、弯曲模量对分层性能的影响,确定KHG700封装LQFP产品达到MSL-3要求.
  • 作者: 张为强 朱林涛 李亚光
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  15-18,54
    摘要: 多线切割机轴辊温度对于硅片表面质量,尤其是翘曲度有较大的影响.传统的PID控制方法由于其局限性难以满足实际生产的要求.提出一种智能PID温度控制方案,模拟人的控制策略及方法,结合经典PID方...
  • 作者: 冯玢 潘章杰 王磊 郝建民
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  19-23
    摘要: 研究了SiC衬底(0001)面和(000-1)面不同的CMP抛光特性.分别采用pH值为10.38和1.11的改性硅溶胶抛光液对SiC衬底的(0001)Si面和(000-1)C面进行对比抛光实...
  • 作者: 张文斌 杨松涛 连军莉 靳卫国
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  24-28
    摘要: 针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求,改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式,设计并实现新的激光加工工艺时序,拓展了激光加工设备的应用...
  • 作者: 吕磊
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  29-33
    摘要: 以手动真空探针设备为例,介绍了真空探针设备与常规设备不同的工艺技术,并分析了真空腔体密封方式及操作流程.
  • 作者: 张世松 邢武装 钱立文 陈翠玉
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  34-38,44
    摘要: 电气用塑料薄膜要求进行耐电压测试,研制的交直流两用薄膜耐压测试仪,耐压测试室正面设有推拉门且设计了专门的操作台,提高了实验人员工作舒适度;升压变压器次级通过电阻间接接地,避免分布电容将高电压...
  • 作者: 凌少钦 韩良 颜凯歌
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  39-44
    摘要: 对圆盘解耦式振动料斗的机械结构和振动参数进行分析,设计了一种机械结构方案;通过实验对加速度幅值和相位差的控制,使解耦式振动料斗获得了较高的振动传送速度,并确定了此时的振幅和相位角大小,验证了...
  • 作者: 白雁兵
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  45-48
    摘要: 介绍了MACHATROLINK系统的组成和基本原理,以及MECHATROLINK-Ⅱ总线在实际应用中的优点.详细阐述了MACHATROLINK-Ⅱ总线在自动BLU叠片设备中的应用,并对操作原...
  • 作者: 刘永进 宋文超 张伟锋 陈仲武
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  49-54
    摘要: 主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在0.25~0.7 mm的φ100~φ200 mm具...
  • 作者: 刘玉倩 李国林 王慧
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  55-57
    摘要: 概述了Copley驱动器同步控制两直线电机的控制模型,在该控制系统中的特殊机械结构,以及同时控制两个电机时电机定子的排布,如何建立位置反馈和电机的相位校正,同时简要计算了同步控制电机的实际参...
  • 作者: 宋俊耀 段晋胜 王建花 董彦梅
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  58-61
    摘要: 介绍了在斜角裁切机切边送料系统开发与研制过程中,如何实现定长送料和纠偏的工艺过程.通过采用电机带动同步带结构和上下橡胶辊以及上下同步移动气缸相结合的传动结构设计了定长送料机构,保证了偏光片定...
  • 作者: 郝晓亮
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  62-66
    摘要: 介绍了贝叶斯网络的概念、组成部分、结构图和条件概率表以及如何建立贝叶斯网络.总结了贝叶斯网络在故障诊断中应用的具体步骤.通过反应离子刻蚀(RIE)的典型故障,阐述了基于贝叶斯网络的故障诊断技...
  • 作者:
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  67-69,后插1-后插3
    摘要:
  • 作者: 宋文超 舒福璋 陈仲武
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  1-3,22
    摘要: 介绍了一种间歇悬浮式厚胶显影工艺,采用该种显影工艺,对使用SU-8光刻胶进行涂胶,胶层厚度大于30μm的晶片进行显影.显影后的晶片进行电镀工艺,经过对显影后晶片上图形的观察和对电镀凸点的分析...
  • 作者: 武祥 颜秀文
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  4-8
    摘要: 宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础.简要介绍了宽禁带半导体器件发展面临的设备问题,重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子注入机和氮化镓MOCVD四种制约...
  • 作者: 谢振民 陈婧
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  9-12,34
    摘要: 太阳能电池单晶制绒与酸洗连体设备主要为了单晶制绒后再进行酸洗而设计的关键设备,可提供多种清洗工艺的选择.通过对单晶制绒后再进行酸洗的关键部件的设计,解决了由于制绒后再酸洗溶液挥发性对设备的腐...
  • 作者: 邴守东 黄帅
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  13-15
    摘要: 在太阳能电池片印刷环节中,几种印刷参数对于印刷质量的影响至关重要.重点分析了印刷高度、印刷压力、印刷速度对印刷质量有哪些影响.
  • 作者: 孟超 常志 时璇 申璐青 胡子卿
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  16-18,45
    摘要: 全自动太阳能硅片清洗机是对脱胶预清洗之后的硅片进行进一步的清洗.为了保证得到洁净的硅片,除了采用碱溶液清洗之外,清洗设备还增加了浸泡、超声清洗、抛动、鼓泡等清洗工艺,提高了硅片的清洗质量和可...
  • 作者: 何华云 宁宗娥 李佳 魏唯
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  19-22
    摘要: 介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准.
  • 作者: 冯玢 潘章杰 王磊 郝建民
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  23-26,64
    摘要: 介绍了一种包含多线切割、研磨、抛光等主要工序的75 mm(3英寸)碳化硅衬底精密加工技术,该技术成功对本单位自主研制的碳化硅衬底进行精密加工.实验过程中使用了几何参数测试仪、强光灯、微分干涉...
  • 作者: 张继静 连军莉 魏鹏
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  27-29
    摘要: 介绍了超声扫描设备中的一种简单快捷的图像及其波形信息获取方法.该方法分别显示各点信息,做上标记,然后一次截取,可以同时获取多点信息,便于检测人员观察、比较,减少了信息获取时间,提高工作效率,...

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

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1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

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