贝叶斯网络在半导体设备故障诊断中的应用

• 作者: 郝晓亮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 贝叶斯网络 反应离子刻蚀 智能故障诊断
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 设备维护与维修
• 页码范围: 62-66
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3815字
• 语种: 中文

摘要

介绍了贝叶斯网络的概念、组成部分、结构图和条件概率表以及如何建立贝叶斯网络.总结了贝叶斯网络在故障诊断中应用的具体步骤.通过反应离子刻蚀(RIE)的典型故障,阐述了基于贝叶斯网络的故障诊断技术在半导体设备故障诊断中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝晓亮	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	71	2.0	6.0