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电子工业专用设备2013年第4期出版文献
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 综述了硅基锗硅薄膜的外延生长技术、设备及其在光电子器件上的应用,其中着重介绍了超高真空化学气相沉积系统(UHVCVD).目前来说,UHVCVD是产业化制备高质量锗硅材料的最佳选择.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 针对LQFP产品封装,研究环氧塑封料的粘接、固化速度、线膨胀系数、吸水率、弯曲模量对分层性能的影响,确定KHG700封装LQFP产品达到MSL-3要求.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 多线切割机轴辊温度对于硅片表面质量,尤其是翘曲度有较大的影响.传统的PID控制方法由于其局限性难以满足实际生产的要求.提出一种智能PID温度控制方案,模拟人的控制策略及方法,结合经典PID方...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 研究了SiC衬底(0001)面和(000-1)面不同的CMP抛光特性.分别采用pH值为10.38和1.11的改性硅溶胶抛光液对SiC衬底的(0001)Si面和(000-1)C面进行对比抛光实...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求,改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式,设计并实现新的激光加工工艺时序,拓展了激光加工设备的应用...
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7. 真空探针设备工艺研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 以手动真空探针设备为例,介绍了真空探针设备与常规设备不同的工艺技术,并分析了真空腔体密封方式及操作流程.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 电气用塑料薄膜要求进行耐电压测试,研制的交直流两用薄膜耐压测试仪,耐压测试室正面设有推拉门且设计了专门的操作台,提高了实验人员工作舒适度；升压变压器次级通过电阻间接接地,避免分布电容将高电压...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 对圆盘解耦式振动料斗的机械结构和振动参数进行分析,设计了一种机械结构方案；通过实验对加速度幅值和相位差的控制,使解耦式振动料斗获得了较高的振动传送速度,并确定了此时的振幅和相位角大小,验证了...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 介绍了MACHATROLINK系统的组成和基本原理,以及MECHATROLINK-Ⅱ总线在实际应用中的优点.详细阐述了MACHATROLINK-Ⅱ总线在自动BLU叠片设备中的应用,并对操作原...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在0.25～0.7 mm的φ100～φ200 mm具...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 概述了Copley驱动器同步控制两直线电机的控制模型,在该控制系统中的特殊机械结构,以及同时控制两个电机时电机定子的排布,如何建立位置反馈和电机的相位校正,同时简要计算了同步控制电机的实际参...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 介绍了在斜角裁切机切边送料系统开发与研制过程中,如何实现定长送料和纠偏的工艺过程.通过采用电机带动同步带结构和上下橡胶辊以及上下同步移动气缸相结合的传动结构设计了定长送料机构,保证了偏光片定...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 介绍了贝叶斯网络的概念、组成部分、结构图和条件概率表以及如何建立贝叶斯网络.总结了贝叶斯网络在故障诊断中应用的具体步骤.通过反应离子刻蚀(RIE)的典型故障,阐述了基于贝叶斯网络的故障诊断技...
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15. 信息动态刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2013年4期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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