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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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3266
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  • 31. 亚半微米铬掩模版制作技术研究
    作者： 刘玉贵 江泽流 王维军 罗四维
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年2期
    页码:  43-45
    摘要： 介绍了用Leica VB5电子束曝光系统在涂敷有PMMA电子束抗蚀剂的4英寸铬板上,通过扫描曝光、湿法显影、干法刻蚀等手段制作亚微米、亚半微米铬掩模版的工艺技术.
  • 32. 世界纳米材料市场2010年预测;以研制出纳米级DNA计算机;日开发出可制造超小型半导体元件的纳米加工新技术;美公布纳米硅制作新方法;重庆大学研制出新型压电生物芯片
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年2期
    页码:  46
    摘要：
  • 33. 纳米结构的高分辨表征、控制;纳米碳管理研究
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年2期
    页码:  47
    摘要：
  • 34. 清华-南风纳米粉体产业化工程中心
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年2期
    页码:  48
    摘要：
  • 35. 全面理解纳米科技内涵,促进纳米科技健康发展——白春礼院士在上海2002年纳米科技发展研讨会上的报告摘要
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  1
    摘要：
  • 36. 纳米半导体材料的评价技术
    作者： 王占国
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  2-5,32
    摘要： 简要地介绍了纳米半导体材料表面形貌、位错缺陷的观测手段与方法以及研究量子点的发光行为和光学性质的手段与方法.
  • 37. 信息MEMS技术
    作者： 杨拥军 赵正平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  6-11,45
    摘要： 介绍了信息MEMS技术的研究内容和研究进展,分析了信息MEMS技术对光通信和移动通信的影响,提出了我国发展信息MEMS技术的建议.
  • 38. DNA分子操纵与分子电子学
    作者： 李光来 李民乾 胡钧
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  12-16
    摘要： 简要介绍了DNA分子研究的进展,包括DNA分子的导电性、DNA分子器件、DNA分子与外界的连接、DNA分子操纵技术及DNA分子和纳米碳管的比较,并展望了DNA分子电子学及相关领域的发展趋势.
  • 39. 由RTD构成的MOBI LE单元电路研究
    作者： 元玉龙 吴霞宛 张世林 梁惠来 牛萍娟 郭维廉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  17-20
    摘要： 对由共振隧穿二极管(RTD)构成的单双稳态转换逻辑单元(MOBILE)电路进行了详细地研究与分析,并结合实际RTD的特性用PSPICE进行了MOBILE单元电路模拟,总结和验证了MOBILE...
  • 40. 单分散胶粒、胶态晶体和三维有序周期性材料的研究进展(续)
    作者： 江万权 胡源 郝凌云 陈祖耀
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  21-25
    摘要：
  • 41. 纳米碳管对(Ni-P)化学复合镀的影响
    作者： 何少龙 朱海滨 李振华 王幼文 王新庆 王淼
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  26-28,38
    摘要： 讨论了采用化学复合镀技术制备纳米碳管-(Ni-P)复合镀层的工艺技术,研究了纳米碳管对(Ni-P)复合镀层耐磨性及抗腐蚀性的影响,确定了纳米碳管-(Ni-P)复合镀层的最佳工艺条件.同时还讨...
  • 42. MEMS可靠性技术
    作者： 冯亚林 李莉 李霁红 郝一龙
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  29-32
    摘要： MEMS的可靠性是其能否成功应用的一个关键.本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析,通过对MEMS的可靠性实验与失效模型的综述,对MEMS的可靠性设计进行了探...
  • 43. LIGA技术及其在微驱动器中的应用
    作者： 张立彬 胥芳 陈刚
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  33-38
    摘要： 介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术和外形磨削成型技术的现状.给出LIGA技术在微驱动器中的应用.
  • 44. 无掩模激光干涉光刻技术研究术
    作者： 冯伯儒 宗德蓉 张锦 苏平 蒋世磊 陈宝钦 陈芬
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  39-42
    摘要： 介绍了一种不用掩模的光刻技术--激光干涉光刻技术的基本原理,给出了干涉光刻技术的主要特点及一些可能的应用,并对实验系统和初步实验结果进行了分析.研究表明,激光干涉光刻具有大视场和分辨率高和视...
  • 45. 生物芯片扫描仪
    作者： 刘业异 张强 胡松
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  43-45
    摘要： 生物芯片扫描仪是生物芯片应用的关键器件.本文概括介绍了激光扫描仪和CCD扫描仪两种主要生物芯片扫描仪的工作方式,对目前市场上各种扫描仪的性能进行了比较,并讨论了扫描仪的发展方向.
  • 46. 近年我国功能纳米带材料研究重大成果回眸
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  46
    摘要：
  • 47. 我国纳米研究机构集锦
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年3期
    页码:  46-47
    摘要：
  • 48. 固傩纳米电子器件和分子器件
    作者： 郭维廉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  1-7
    摘要： 综述了两类纳米电子器件--固体纳米电子器件和分子电子器件的定义、分类方法及特点,并提出发展纳米电子器件的几点建议.
  • 49. 点接触平面栅型硅单电子晶体管
    作者： 孙劲鹏 王太宏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  8-10，36
    摘要： 设计了点接触平面栅型硅单电子晶体管,利用自对准技术实现了点接触平面栅,并通过给平面栅施加偏压实现了量子点.讨论了点接触平面栅型单电子晶体管与其通道宽度和平面栅上电压的关系.对一个具有70nm...
  • 50. 单电子晶体管及其工艺制作技术
    作者： 张世林 梁惠来 郭维廉 郭辉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  11-18
    摘要： 基于库仑阻塞效应和量子尺寸效应工作的单电子晶体管(SET)由于具有超小器件尺寸、超低功耗、超低工作电流和超高工作频率等特点,受到人们的重视和深入研究.本文通过简要介绍SET的器件结构、原理和...
  • 51. 衬底温度对纳米晶SnO2薄膜结晶特性的影响
    作者： 王占和 祝侃 蒋耘晨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  19-21
    摘要： 阐述了金属氧化物SnO2纳米薄膜研究的发展情况及其应用前景,介绍了采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150～400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2:Sb透明导电薄膜...
  • 52. RF磁控溅射技术制备纳米硅
    作者： 吴正龙 宗婉华 秦国刚 衡成林 马振昌
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  22-24，29
    摘要： 利用硅-SiO2复合靶,RF磁控溅射技术制备了三种富硅量不同的SiO2薄膜,并在较大的温度范围内进行了退火.利用X射线光电子能谱,对刚淀积的样品进行了分析,结果表明三种样品都存在纳米硅粒子....
  • 53. 碳纳米管及其制备技术
    作者： 张臣
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  25-29
    摘要： 介绍了碳纳米管及其制备技术的国内外最新研究进展,分析了碳纳米管材料的研究现状,并对碳纳米管材料未来的发展方向进行展望.
  • 54. 深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
    作者： 余国彬 姚汉民 胡松 陈兴俊
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  30-32
    摘要： 随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度光刻中,光刻实验...
  • 55. UV-LIGA技木制造微型电磁继电器的初步研究
    作者： 刘刚 张鹏 田扬超
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  33-36
    摘要： 详细阐述了一种微型电磁继电器的设计和初步研制过程.该微继电器主要由电极、悬臂梁结构和电磁线圈组成.设计过程中考虑了微继电器打开、闭合时电磁力、静电力和悬臂梁回复力之间的制约关系,即微继电器打...
  • 56. 一种新型的具有角度限制的电子束投影曝光技术
    作者： 张福安 顾文琪
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  37-41
    摘要： 具有角度限制的电子束投影曝光技术有可能成为21世纪最有潜力的纳米光刻技术之一.通过配备缩小投影透镜、掩模承片台、基片工作台和控制用计算机,我们将一台透射电子显微镜(TEM)改造成一台用于电子...
  • 57. 电子束直写直栅和T形栅工艺技术应用
    作者： 刘玉贵 江泽流 王维军 罗四维
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年4期
    页码:  42-43
    摘要： 介绍了用电子束直写技术在GaAs圆片上制作≤0.5μm栅和T形栅的工艺技术,并在GaAs器件的研制中得到应用.
  • 58. 纳米线、纳米管的制备、表征及其应用
    作者： 王太宏 韩红梅
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  1-10
    摘要： 在高度集成化浪潮的推动下,现代技术对纳米尺度功能器件的需求将越来越迫切.纳米线、纳米管等一维材料作为纳米器件中必不可少的功能组件,在纳米研究领域中的地位显得愈发重要.本文从一维纳米材料的研究...
  • 59. 共振隧穿二极管
    作者： 宋婉华 张世林 张豫黔 杨中月 梁惠来 毛陆虹 牛萍娟 赵振波 郝景臣 郭维廉 魏碧华
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  11-15，36
    摘要： 设计并研制出室温工作的共振隧穿二极管,室温电流峰谷比达到7.6:1,最高振荡频率为54GHz.本文对RTD的设计、研制过程、参数和特性测试进行了系统的分析和说明.
  • 60. 纳米技术在克隆技术中的应用前景
    作者： 蔡继业 陈勇
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  16-19
    摘要： 纳米科技近年来的迅猛发展带动物理、化学、生物和医学等众多学科进入全新的领域,其前景是可以预见的.本文从生物医学的众多技术之一--克隆技术,展望了纳米技术的应用前景.

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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