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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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目录
  • 61. 在(111)Si衬底上磁控溅射纳米SiC薄膜的退火效应
    作者： 安霞 庄惠照 李怀祥 杨利 薛成山
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  20-24
    摘要： 用射频磁控溅射法在常温硅衬底上制备出了纳米碳化硅薄膜,并研究了退火温度对薄膜的影响.用傅里叶红外透射谱(FTIR)、x射线衍射(XRD)、x光电子能谱(XPS)及原子力显微镜(AFM)对薄膜...
  • 62. 纳米多孔铝的制备技术及应用
    作者： 党建印 黄瑞青 黄靖云
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  25-27
    摘要： 介绍了阳极氧化方法制备纳米多孔铝的技术.阳极氧化多孔铝由于孔径可以控制在纳米尺度,因而在半导体纳米线料的制备方面具有广泛的用途.
  • 63. RF MEMS开关
    作者： 乔大勇 苑伟政
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  28-30
    摘要： 由于能耗低、隔离度好、工作频带宽,MEMS开关在RF领域得到了广泛的应用.本文着重介绍了RF MEMS开关的基本参数、分类以及典型制造工艺和设计时考虑因素等一些基本的概念.
  • 64. Nb5+/Ti4+离子对O3气敏元件的性能改善
    作者： 唐世洪 张勇华 曾庆立 梁平原 谭子尤 邓永和
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  31-33
    摘要： 在W03中掺入Nb5+、Ti4+杂质离子,制成傍热式厚膜元件,结合开溢脱附(TPD)和半导体分析,研究了掺杂离子对元件性能的影响.
  • 65. 质子LIGA工艺的探讨
    作者： 伊福廷 张菊芳 彭良强 徐韬光 韩勇
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  34-36
    摘要： 提出采用掩模法的质子LIGA方法,即利用厚胶光刻产生掩模,然后进行质子束深度刻蚀、显影获得微结构.根据TRIM96程序进行模拟计算,该方法可以获得深度达数毫米、深宽比为30以上的微结构.利用...
  • 66. 用于T形栅光刻的新型移相掩模技术
    作者： 崔铮 张倩 樊照田 王维军 王育中 田振文 陈宝钦 韩安云
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  37-40
    摘要： 根据移相掩模基本原理,通过光刻工艺模拟提出了一种适于T形栅光刻的新型移相掩模技术--M-PEL.初步实验证明,M-pEL技术可在单层厚胶上经一次光刻形成理想的T形栅抗蚀剂形貌.
  • 67. CCD生物芯片检测仪设计
    作者： 刘业异 唐小萍 王淑蓉 胡松
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  41-44
    摘要： 生物芯片(基因芯片和蛋白芯片)是提取生物分子信息的一种新技术,主要用于检测多种基因或蛋白的表达水平,正在成为新世纪最主要的分子诊断手段.本文介绍了一种CCD生物芯片检测仪的原理、结构组成,并...
  • 68. 全国部分微米纳米相关会议消息
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  46-47
    摘要：
  • 69. 碳纳米管及其批量制备研究进展
    作者： 刘唐 王垚 罗国华 魏飞
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  1-4,11
    摘要： 从碳纳米管的优异性能和应用出发,综述了碳纳米管的制备方法以及我国目前在碳纳米管研究中面临的问题;分析了碳纳米管产业化对的我国纳米技术产业化发展的积极意义,特别介绍了清华-南风纳米粉体产业化工...
  • 70. 半导体中的谷间电子转移和体振荡
    作者： 薛舫时
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  5-11
    摘要： 从GaAs/AlAs量子阱的量子限制、能带混合和隧穿共振中发现了新的异质谷间转移电子效应.用它制成了定位精度高的高效谷间电子布居控制极.把这种控制极设置于耿氏有源层的阴极端,消除了器件中的死...
  • 71. 薄棚氧化层的TDDB研究
    作者： 王晓泉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  12-15,20
    摘要： 随着超大规模集成电路的不断发展,薄栅氧化层的质量对器件和电路可靠性的作用越来越重要.经时绝缘击穿(TDDB)是评价薄栅氧化层质量的重要方法.本文重点介绍了TDDB的几种主要击穿模型和机理,比...
  • 72. 硼预淀积对自组织生长Ge量子点尺寸分布的影响
    作者： 李志坚 王燕 罗广礼 邓宁 陈培毅 黄文韬
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  16-20
    摘要： 研究了以不同B2H6流量预淀积硼对UHV/CVD自组织生长Ge量子点尺寸分布的影响.在适当的生长条件下,得到了尺寸分布很窄的均匀Ge量子点,用AFM对量子点的形貌进行观察,Ge量子点尺寸的涨...
  • 73. 半导体量子点最低导带态的量子限制效应
    作者： 朱允伦 李效白 翟菊婷 陈元
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  21-27
    摘要： 采用最新计算方法和半导体体材料传统量子计算结果,系统研究了14种半导体(Si,Ge,Sn,A1Sb,GaP,GaAs,GaSb,InP,InAs,InSb,ZnS,ZnSe,ZnTe,CdT...
  • 74. 引信用高g加速度计研究
    作者： 何洪涛 吝海锋 徐永青 杨拥军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  28-31
    摘要： 高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点.我们开发的新型电容式加速度计,具有10万g的量程,能够实现高g环境下的加速度测量,满足了用户的要求.基于有限元模拟和经...
  • 75. 电容式加速度传感器结构的计算机仿真
    作者： 吝海锋 杨拥军 郑锋
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  32-35
    摘要： 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理,应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态,1g加速度下的挠度,以...
  • 76. 激光共聚焦生物芯片扫描仪分辨率特性研究
    作者： 严伟 余国彬 姚汉民 胡松
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  36-38
    摘要： 随着生物芯片集成度的提高,所用反应物的量减少,其激发所产生的荧光信号也越来越微弱.因而,对高精度、高分辨率生物芯片检测仪的要求迫在眉睫.本文探讨了一种激光共聚焦生物芯片扫描仪的成象原理和高分...
  • 77. 同步辐射x射线光刻制作深亚微米T形栅
    作者： 叶甜春 李兵 谢常青 陈大鹏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  39-41
    摘要： x射线光刻非常适合用于深亚微米T形栅的制作,这是因为它的高分辨率、大的曝光视场和高的生产效率足以满足MMIC制造工艺的要求.本文中我们首先对我们的x射线掩模制造工艺进行介绍,然后论述了一种用...
  • 78. Au/Fe磁性多层膜在纳米颗粒转化过程中的电磁物性在线测量方法
    作者： 李正孝 赵杨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  42-45
    摘要： 通过对当前磁性颗粒膜巨磁阻效应的一般研究方法的讨论,分析了当前已存在方法的不足之处,提出了一种利用离子束混合技术在线制备纳米颗粒膜的实验方法,该方法的特点是能够在磁性多层膜转化为纳米颗粒膜的...
  • 79. 纳米技术在飞速发展
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  46-47
    摘要：
  • 80. 湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年6期
    页码:  48
    摘要：
  • 81. 分子尺寸器件与单分子器件
    作者： 华中一
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  1-8
    摘要： 未来的计算机可以小到什么程度?迄今无人可以做详尽的回答.但毫无疑问,硅基集成电路由于光刻技术的限制和生产成本随尺寸变小作指数增长,将很快达到它的极限(最小线宽100nm).目前国际上已提出未...
  • 82. 单电子晶体管及其SPM加工方法
    作者： 刘庆纲 胡小唐 郑丽芬
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  9-12
    摘要： 在电子技术领域,高度集成化是人们不断追求的目标,纳米电子器件迎合了人们的这种需要,将逐步取代微电子器件成为芯片的主要单元.单电子器件以其高效、高功能、高速、低耗(可在常温下工作)、高集成化及...
  • 83. 共振隧穿二极管的设计和研制
    作者： 梁惠来 牛萍娟 王振坤 赵振波 辛春艳 郭维廉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  13-16
    摘要： 用分子束外延在半绝缘砷化镓上生长两垒一阱结构,制成RTD单管.经过材料生长设计、工艺设计和版图设计几方面的改进,测得最高振荡频率已达54 GHz.
  • 84. 激光定域晶化技术制备纳米硅的研究
    作者： 朱乐仪 李伟 王晓伟 王立 陈坤基 马忠元 黄信凡
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  17-20
    摘要： 利用相移光栅模板使KrF准分子激光形成强度周期分布的激光束,定域晶化a-Si:H(4 nm)/a-SiNx:H(10 nm)多层膜中的超薄a-Si:H层,成功地制备出了三维有序分布的nc-S...
  • 85. a-Si:H热处理过程中纳米硅粒尺寸的控制
    作者： 薛清 郁伟中 黄远明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  21-26
    摘要： 报道了控制热处理过程中含氢非晶硅中纳米硅颗粒大小的一种新方法.用喇曼散射、X射线衍射和计算机模拟,发现在非晶硅中所形成的纳米硅颗粒的大小,随着热退火过程中升温速率的变化而变化.在退火过程中,...
  • 86. 大位移、低电压驱动MEM5静电梳齿驱动器的设计与研究
    作者： 李海军 杨拥军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  27-30
    摘要： 分析了MEMS静电梳齿驱动工作原理,以梳齿结构和弹性梁结构为基础,综合考虑了动态特性、可靠性以及加工工艺可行性要求.提出了非等高结构、变形曲臂梁结构、位移放大驱动器、垂直Z向位移静电梳齿驱动...
  • 87. MEMS开关辐照实验研究
    作者： 邹学锋 顾卫东
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  31-34
    摘要： 进行了MEMS开关的辐照试验,并对结果进行了分析.所述的MEMS开关采用单晶硅悬臂梁结构实现金属电极接触,工作电压小于50V,最大工作频率大于10kHz.进行了中子辐照和γ辐照实验,其中中子...
  • 88. 生物芯片扫描仪弱信号检测方法
    作者： 唐小萍 罗正全 马平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  35-38
    摘要： 弱信号检测是生物芯片扫描仪的重要组成部分,也是生物芯片技术前进过程中面临的主要困难之一,特别是在高精度快速扫描中,其检测灵敏度及响应速度对整个扫描仪的性能将产生重大影响.在比较了几种常见信号...
  • 89. 应用于PHEMT器件的深亚微米T形栅光刻技术
    作者： 叶甜春 李兵 谢常青 陈大鹏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  39-42
    摘要： PHEMT器件和基于它的高频单片集成电路广泛应用于现代微波/毫米波系统.当PHEMT器件的栅长缩短到足够短的时候,沿着栅宽方向的寄生电阻会影响PHEMT器件的性能.为了解决这个问题,一种具有...
  • 90. 下一代光刻技术突破传统的光刻技术障碍
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年7期
    页码:  43-44
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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