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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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  • 91. 柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现
    作者： 刘旭 蒋庄德 赵玉龙 高建忠
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  34-36
    摘要： 针对MEMS复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法.该方法采用遗传算法(GA)与有限元方法(FE)联合的优化策略,用MATLAB软件作为"调度员",将ANSYS与M...
  • 92. 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究
    作者： 任天令 刘理天 叶双莉 张大成 阮勇
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  37-39
    摘要： 提出了提高硅深反应离子刻蚀的新方法.该方法在硅的侧壁PECVD淀积SiO2,硅的底部采用热氧化的方法形成SiO2.由于在刻蚀中硅与SiO2的刻蚀选择比为120:1～125:1,因此SiO2层...
  • 93. 微声学器件封装特性研究
    作者： 任天令 刘理天 杨轶 王水第 蔡坚
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  40-42
    摘要： 分别采用TO-CAN和SMT形式对微声学器件进行了封装,并对封装后的器件进行了耦合腔测试和指向性测试.测试结果表明,通过减小前入声孔直径大小,能够抑制微音频器件的高频响应;另外通过采用不同的...
  • 94. GMM,PZT和弹性基板复合磁电耦合效应研究
    作者： 刘盼刚 卞雷祥 文玉梅 李平 程磊
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  43-44,55
    摘要： 将超磁致伸缩材料(GMM)、压电材料(PZT-5H)复合于弹性基板上,利用共振原理构造了一种新型的磁电换能器.当激励磁场的频率等于或者接近于弹性基板的固有频率时,GMM将驱动弹性基板振动并发...
  • 95. 非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建
    作者： 吕宇强 杨海波 甄志成 胡明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  45-47
    摘要： 根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对...
  • 96. 硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究
    作者： 于海超 孙凤玲 方建雷 杨永刚 王金文
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  48-50
    摘要： 微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移.针对硅压阻式压力传感器这一"弱...
  • 97. 一种改进的运算放大器小信号建模方法及验证
    作者： 孙旭 李哲英 钮文良
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  51-55
    摘要： 以经典的频率特性模型为基础,针对两级运算放大器结构进行分析,提出一种改进的运算放大器小信号宏模型建立方法.给出一种模型可信度评估机制,并采用BSIM3V3 MOSFET模型,对改进的运放小信...
  • 98. 基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案
    作者： 万江文 于尚民 冯仁剑
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  56-59
    摘要： 采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真...
  • 99. 碳纳米管制备及其生长机制研究
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  60-62
    摘要： 采用乙醇催化燃烧法,以钴盐作为催化剂先体、薄铜片作为基底制备碳纳米管.分别以氯化钴、硝酸钴和硫酸钴作为催化剂先体,研究了不同催化剂先体对碳纳米管生长的影响;利用扫描电镜,透射电镜对碳纳米材料...
  • 100. 用FeCl3作催化剂先体制备碳纳米结构
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  63-65
    摘要： 以不同浓度的FeCl3溶液作为催化剂先体,利用乙醇催化燃烧法,在铜片上生长出了碳纳米管和碳纳米纤维.讨论了不同浓度的FeCl3催化剂先体对生长碳纳米材料产物和形貌的影响.利用扫描电镜,透射电...
  • 101. 电容式高分子湿敏材料功能设计
    作者： 卢崇考 郑丽 金建东
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  66-67,71
    摘要： 以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料...
  • 102. 非制冷红外探测器多孔硅绝热层的研究
    作者： 吕宇强 张伟 张绪瑞 杨海波 甄志成 胡明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  68-71
    摘要： 以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜.实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,7...
  • 103. n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触温度特性及微结构研究
    作者： 冯士维 张弓长 张跃宗 王承栋
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  72-75
    摘要： 主要对n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触在高温下(500℃)的特性进行了研究,发现在所测温度范围内,接触电阻率随测量温度的升高呈现出增加的趋势,接触开始退化.同时分析研究了在不同高温...
  • 104. 低温微波水热法制备氧化钇稳定氧化锆
    作者： 刘力 孙永欣 常爱民 杨阳 王绍钢 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  76-79,85
    摘要： 微波水热合成法是新型的纳米粉体材料制备方法,它与常规水热法相比,反应时间更短、反应温度更低,并且微波的非热效应影响产物晶型的形成.立方相氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷材料是制作氧传感器、固体...
  • 105. Ag/La0.67Sr0.33MnO3薄膜电阻开关特性的研究
    作者： 刘理天 曲炳郡 黄丽娜
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  80-82
    摘要： 采用脉冲激光沉积技术在SrTiO3(001)单晶衬底上制备出钙钛矿结构La0.67Sr0.33MnO3薄膜,利用X射线衍射仪与原子力显微镜表征其晶体结构与微观形貌,并对Ag/Lao.67Sr...
  • 106. 乙醇催化燃烧法制备Y形碳纳米纤维
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  83-85
    摘要： 介绍了一种既简单又经济的用于制备Y形结构碳纳米纤维的催化燃烧方法.采用乙醇作为碳源,金属盐溶液作为催化剂先体;同时,基底材料采用铜薄片;实验装置采用酒精灯.实验在常温常压下就可以进行,且不需...
  • 107. NTC热敏陶瓷用Mn0.43Ni0.9 CuFe0.67O4的Pechini法合成及性能研究
    作者： 常爱民 张慧敏 王绍刚 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  86-90
    摘要： 采用Pechini法,成功制备了Mno.43Ni0.9CuFe0.67O4纳米粉体.聚合前驱体在400～700℃下煅烧,采用热重一差热分析(TG-DTA)、红外光谱(IR)、X射线衍射(XR...
  • 108. Co-Ni-Sr-O系低温热敏陶瓷材料研究
    作者： 妥万禄 常爱民 张慧敏 杨阳 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  91-94,107
    摘要： 着重研究了工作温度范围为20～77 K的低温热敏电阻器的生产工艺参数.利用先进的半导体陶瓷工艺,合成了新的低温NTC热敏陶瓷材料SrCoO3-δ,并用不同量的Ni取代Co对其掺杂改性,得到了...
  • 109. CoMnNiO系NTC热敏半导体陶瓷烧结特性与电性能研究
    作者： 常爱民 张惠敏 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  95-97
    摘要： 研究了CoMnNiO系负温度系数热敏电阻陶瓷材料的烧结特性和电性能,探讨了不同烧结方法对CoMnNiO系NTC热敏陶瓷烧结特性及电性能的影响.试验结果表明,微波烧结的样品成瓷均匀、致密,且晶...
  • 110. 电纺SnO2纳米纤维的制备及其气敏特性
    作者： 何秀丽 张阳 李建平 高晓光
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  98-101
    摘要： 采用聚乙烯醇(PVA,Mω=80000 g/mol)和五水合四氯化锡(SnCl4·5H2O)作为静电纺丝前驱液,着重研究了纺丝电压、前驱液中PVA浓度及煅烧温度等因素对纺丝过程及纤维特性的影...
  • 111. 磁控溅射法制备WO3薄膜及其氢敏特性研究
    作者： 冯有才 尹英哲 胡明 陈鹏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  102-104
    摘要： 采用直流反应磁控溅射法,在未抛光的Al2O3基片上制备WO3薄膜,在干燥空气中经过热处理;利用SEM观察薄膜表面形貌;通过XRD测量,对薄膜的晶体结构进行分析;薄膜氢敏特性测试采用静态配气法...
  • 112. 钠米晶LaCO0.2 Fe0.8O3的制备及湿敏特性研究
    作者： 冯彩慧 吴凤清 王竹仪 陈骋
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  105-107
    摘要： 以La(NO3)3×6H2O,Fe(NO3)3×9H2O和Co(NO3)2×6H2O为原料,采用柠檬酸盐法合成LaCo0.2Fe0.803纳米晶,用DTA,TGA对原粉形成纳米晶过程进行分析...
  • 113. TiO2纳米材料对甲醛气体的气敏性能研究
    作者： 冯彩慧 吴凤清 王金兴 赵萌 邹博
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  108-110
    摘要： 采用溶胶-凝胶法合成了对甲醛气体(HCHO)敏感的纳米晶TiO2材料.利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等测试方法对TiO2纳米晶结构和表面态进行了表征.X射线衍射结果表明...
  • 114. 乙醇化学气相沉积法制备多壁碳纳米管
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  111-112,116
    摘要： 介绍了采用浮动催化剂法,利用乙醇化学气相沉积法制备多壁碳纳米管.采用二茂铁作为催化剂先体,乙醇作为碳源,利用石英基底收集产物.催化剂先体二茂铁的蒸汽在载气的作用下被带到高温区(800℃),二...
  • 115. 影响催化燃烧法制备碳纳米材料的因素
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  113-116
    摘要： 讨论了基底在火焰中的位置、合成时间及火焰的稳定性等因素对乙醇催化燃烧法制备的产物的影响.采用乙醇作为碳源和燃料,在不同的制备条件下分别制备样品,并采用扫描电子显微镜、喇曼光谱等对样品进行表征...
  • 116. 3-2型压电复合材料参数对厚度振动模的影响
    作者： 孙百生 李莉 王丽坤 秦雷
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  117-119
    摘要： 3-2型压电复合材料在水声换能器应用中主要工作于厚度振动模态.应用切割填充法制备了四种3-2型压电复合材料,并通过改变复合材料中压电陶瓷的体积分数,实验测得了四种3-2型压电复合材料厚度谐振...
  • 117. 电化学还原法制备氧化铅纳米棒
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  120-122
    摘要： 用电化学还原法制备出氧化铅纳米棒,用SEM、TEM、EDS和XRD研究其微观形貌和晶体结构.实验过程中发现电流密度是影响氧化铅纳米棒生成质量的主要因素.研究结果表明,用电化学还原法制备氧化铅...
  • 118. 竹节形碳纳米管的制备
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  123-125
    摘要： 采用乙醇催化燃烧法制备竹节形碳纳米管,利用乙醇作为碳源和燃料提供材料生长所需的能量,以Cu薄片作为基底,FeCl3与Fe(NO3)3作为催化剂先体.通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微...
  • 119. 单根多壁碳纳米管的电学测试
    作者： 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  126-128
    摘要： 提出了一种制备多壁碳纳米管的简单方法.以乙醇为碳源,利用催化化学气相沉积工艺制备了碳纳米管.用较为简单的设备在较低的反应温度下,在基底上生长了取向多壁碳纳米管阵列.利用扫描电子显微镜内部的纳...
  • 120. 催化燃烧法合成碳纳米线
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  129-131
    摘要： 研究了碳源与催化剂先体对催化燃烧法制备的碳纳米线的影响.采用Cu薄片作为基底,分别采用甲醇、乙醇、丙酮作为碳源,Fe(NO3)3,Ni(NO3)2,Co(NO3)分别作为催化剂先体.将催化剂...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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