微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 刘雪花 唐彬 温中泉 温志渝 董媛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年9期
    页码:  881-884,891
    摘要: 提出了一种基于驻极体的MEMS微型振动式发电机,该微型发电机通过极化电荷在由振动引起变化的电容极板之间转移,实现外部振动机械能向电能的转换.在已研制出的驻极体材料基础上,通过对微型振动式发电...
  • 作者: 吴斌 王庆康
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年9期
    页码:  885-891
    摘要: 集成表面等离子体共振传感芯片是表面等离子体共振传感技术和微电子集成制造技术结合的产物.介绍了表面等离子体的共振传感的原理和传统器件;重点介绍了集成表面等离子体传感芯片的发展背景、基本结构、制...
  • 作者: 严伟 吴钦章 胡松 陈瑛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年9期
    页码:  892-896,899
    摘要: 介绍了基于USB2.0的高速视频采集系统的实现方法.通过介绍Philips视频解码芯片SAA7111以及USB通用接口芯片CY7C68013的性能特点,提出了基于USB2.0的视频采集系统硬...
  • 作者: 刘黎明 杨培志
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年9期
    页码:  897-899
    摘要: 采用RF反应磁控溅射沉积ZnO薄膜,沉积完成后对薄膜进行氧气氛下的原位退火处理.薄膜的结晶状况和化学成分分别采用XRD和XPS进行分析.结果表明,该薄膜为结晶性能良好的纳米晶薄膜,具有高度的...
  • 作者: 李秋菊 范海涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年9期
    页码:  900-905
    摘要: 光子晶体光纤的奇异特性包括无休止单模特性、大模面积特性、可调的色散特性、高双折射特性和非线性特性.介绍了光子晶体光纤的制备技术,阐述了不同的结构和特性的光子晶体光纤的几种制备方法,指出其中较...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年9期
    页码:  906
    摘要:
  • 作者: 张邦维
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  907-916
    摘要: 走过了半个世纪的磁储存技术,小型化牵动着数据储存和计算机硬盘到达了从未有过的高度.正在研究发展的热辅助记录技术和图形媒介技术将会给磁记录硬盘带来更高的面密度,从而使小型化在磁储存的框架内还将...
  • 作者: 郭维廉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  917-922,951
    摘要: 阐述了电路模拟在设计和研制大规模集成过程中的必要性和重要意义,器件模型在电路模拟中的重要性以及器件模拟与器件模型的关系;在器件模拟通用软件形成过程的基础上重点讨论了RTD的器件模型、器件模拟...
  • 作者: 郭维廉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  923-932,968
    摘要: 在简述共振隧穿三极管(RTT)的特点、定义、分类的基础上,全面、系统地介绍了各种结构RTT的材料结构、器件结构、工作原理、制造工艺及器件性能参数等,对某些RTT还给出了其应用前景.由于RTT...
  • 作者: 张亚非 徐斌 王英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  933-939
    摘要: 纳米材料由于其特有的优异性能,在许多重要领域都有着诱人的应用前景,因而如何有效地操纵和组装纳米材料,成为纳米材料应用的关键问题之一.LB技术组装纳米材料具有均匀性好、稳定性高以及高度有序等优...
  • 作者: 刘冕 马文东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  940-942
    摘要: 在无表面活性剂的条件下,采用水热反应法制备出单晶结构的掺杂过渡族金属粒子Mn的纳米ZnO颗粒,通过X射线衍射仪(XRD)对其微结构进行了表征,并对其紫外及可见光吸收光谱和X光衍射光谱进行了分...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  942
    摘要:
  • 作者: 刘兴钊 王茳 邓新武
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  943-945
    摘要: 采用化学气相沉积(CVD)法以气-液-固(VLS)机制生长了碳化硅(SiC)晶须,系统研究了基片表面的气流状况、生长温度和反应室总气压等对SiC晶须形貌的影响.研究结果表明:当基片表面存在较...
  • 作者: 任杰 樊尚春
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  946-951
    摘要: 分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的硅基双轴谐振式微机械加速度计的结构形式.该结构采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度,设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦,且结...
  • 作者: 余荣 吴敢 曹生珠 杨建平 王瑞 陈学康
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  952-956
    摘要: 热导极为微小的热敏悬空微桥结构的制作是集成非致冷热成像探测阵列热敏感单元研究的核心.由于没有现成的将聚酰亚胺制成微桥的工艺,采用准分子激光微刻蚀技术,使用聚酰亚胺材料,并采用铂作为敏感材料来...
  • 作者: 卢文娟 孔祥东 张玉林 郝惠娟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  957-959,963
    摘要: 软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术,弹性印章是软刻蚀技术的核心.简单介绍了软刻蚀技术,使用SDS-3型电子束曝光机,采用重复增量扫描方式进行曝光,生成弹性印章的母...
  • 作者: 杨修文 江锐 石义杰 祝生祥
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  960-963
    摘要: 结合半导体激光器的特点,通过对高斯光束发散特性的分析,得到激光器的模场分布特点,指出与激光器最佳耦合的光纤外形为楔形光纤,楔形光纤的楔角与尖端半径决定着耦合效率.实验表明,楔形光纤与半导体激...
  • 作者: 刘玉岭 武亚红 王立发 陈景 马振国
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年10期
    页码:  964-968
    摘要: 分析了硬盘盘片的结构特点及硬盘基板的作用.在超净实验室中,通过调节氧化剂的含量,对硬盘基板进行了化学机械抛光.分析了不同氧化剂的含量对硬盘基板抛光速率的影响.对抛光后的硬盘基板进行了检测.抛...
  • 作者: 张邦维
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  969-975
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  975,1030
    摘要:
  • 作者: 薛舫时
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  976-984,1007
    摘要: 在综述大功率AlGaN/GaN HFET性能退化实验结果的基础上,研究了器件退化与电流崩塌间的关联.分析了现有各类器件失效模型的优点和不足之处.通过沟道中强电场和热电子分布的研究,完善了热电...
  • 作者: 张威 曹璐 李梦轲 魏强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  985-988,1003
    摘要: 用低压化学气相沉积法制备了T形和V形纳/微米ZnO同质结,用扫描电子显微镜(SEM)和高倍光学成像显微镜观察了同质结的结构与生长形貌,分析了其结构及生长机理.利用ZnO同质结组装成了纳/微米...
  • 作者: 吴刚 李芹 王森 蔡理
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  989-993
    摘要: 随着超大规模集成技术的飞速发展,CMOS图像传感器已成为研究开发的热点.简要介绍和分析了基于非平衡格林函数、维格纳函数与密度矩阵、单粒子薛定谔方程的三种纳米CMOS器件的输运模型,并指出了各...
  • 作者: 周祚万 李艳霞 王凯
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  994-999
    摘要: 采用高温固溶工艺制备了Al3+,Fe3+和Ag+掺杂的T-ZnO气敏材料,并制作了烧结型厚膜气敏元件,测试了元件对H2S,NH3,C2H5OH和H2的敏感特性,研究了掺杂剂、掺杂工艺和材料形...
  • 作者: 付承菊 李杰 郭冬云
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  1000-1003
    摘要: 以多孔阳极氧化铝膜为模板制备纳米结构材料具有独特的优越性,得到了广泛的关注.介绍了多孔阳极氧化铝膜的形成机理、结构类型和在草酸溶液中制备多孔氧化铝模板的工艺.在本实验中,使用高纯铝片(99....
  • 作者: 侯丽雅 朱丽 章维一
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  1004-1007
    摘要: 设计了一种数字化微混合反应器,对不同流体通过数字化微喷射生成微液滴,利用液滴间的碰撞和聚合实现试样与试剂间的微混合与反应.该微混合反应器由玻璃微流体器件拉制仪拉制的微管道进行粘接组合而成,内...
  • 作者: 赵汉中 陈瑶
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  1008-1011,1025
    摘要: 采用有限体积法计算了微尺度矩形通道中气体的三维流动,在计算中考虑了气体稀薄效应所造成的壁面相对滑移和气体的可压缩性.计算结果表明,由于壁面上存在着速度的相对滑移,壁面摩擦系数显著减小,质量流...
  • 作者: 孙道恒 席文明 洪小雅 郭阿全 钟辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  1012-1016
    摘要: 在细胞注射时,显微镜上CCD获取的只是注射针的二维信息,但光轴方向的深度信息丢失,这会导致细胞注射的失败,必须用其他方法获得.利用激光三角测量法对注射针以及细胞载玻片的深度信息进行测量,通过...
  • 作者: 刘玉岭 武亚红 王立发 陈景 马振国
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  1017-1020,1025
    摘要: 阐明了金属化学机械抛光的机理,同时介绍了铝合金化学机械抛光过程中存在的问题,并提出采用碱性抛光液进行实验;分析了抛光液、压力、温度、pH值参数、FA/O Ⅰ型活性剂对LY12铝合金圆薄片抛光...
  • 作者: 刘玉岭 张建新 边永超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年11期
    页码:  1021-1025
    摘要: 利用硼掺杂金刚石膜电极在电解液中作阳极,通过控制各种相关条件使电解液中产生大量氢氧自由基和其他强氧化物质,将有机污染物氧化分解成小分子,甚至是CO2和H2O;同时配合专用清洗剂,极好地去除材...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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