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微纳电子技术2007年第5期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 纳米异质外延技术是制备高失配半导体薄膜的一种纳米制作技术路线,随着超大规模集成电路纳米图样加工技术的进步,它将在制备无缺陷密度且单晶品质完美的高失配半导体薄膜材料中发挥巨大的作用.详细地综述...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 介绍了纳米晶非挥发性存储器的发展状况和基本工作原理,比较了纳米晶非挥发性存储器所涉及到的各种不同的电荷输运机制,系统介绍了纳米晶非挥发性存储器在纳米晶材料设计、纳米晶晶体生长控制方法、隧穿/...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 介绍了新思科技(Synopsys Inc.)最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具--SenTaurus Process的基本功能及其仿真领域,详细阐述了SenTaurus Proces...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料.本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片上制备了掺锡氧化铟(ITO)纳米透明导电薄膜.采用紫外-可见透射光谱和四探针技术,研究了不同Sn掺杂量、不同热处理温度和热处理时间以及不同涂层对薄膜...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 用分子动力学方法对轴向压缩下的单壁和双壁碳纳米管的屈曲行为进行了模拟研究.在分子动力学模拟中,采用Tersoff-Brenner势结合6～12形式的Lennard-Jones势描述碳原子之间...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 以ZnO陶瓷为溅射靶材,通入纯氩气,使用射频溅射法在玻璃基片上制备ZnO薄膜,研究了气体压强、基片温度、溅射功率等对薄膜性质的影响.通过XRD及原子力显微镜(AFM)等检测得出制备C轴(00...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 微能源具有体积小,重量轻等特点,是军民两用高新技术发展的迫切需求,已成为近年来MEMS领域的一个重要发展方向.微能源主要分为微型电池和微型发电机两大类.本文着重介绍基于MEMS技术的微型发电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： MEMS封装技术大多是从集成电路封装技术继承和发展而来,但MEMS器件自身有其特殊性,对封装技术也提出了更高的要求,如低湿,高真空,高气密性等.本文介绍了五种用于MEMS封装的封帽工艺技术,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究.本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 介绍一种利用示波器和光电转换装置同时测试窄脉冲半导体激光器的脉宽和功率的方法,主要分析了影响测量的几个因素,给出测量不确定度.该方法用示波器直接测量脉冲宽度,根据测量电压与激光脉冲功率的正比...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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14. 《微纳电子技术》征稿启事刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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